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空氣分離中在線分析主要包含兩個方面：一是對工藝穩定和安全生產的相關參數進行分析。空分設備的特點是整個工藝裝置龐大，穩定性一旦破壞就需要很長時間才能恢復，所以需要將裝置中的重要成分及時地提供給操作人員；二是對產品質量的監測，空分設備的產品質量直接影響企業后續的工藝，必須把好質量關。
空分流程中典型分析點包括：1.出凈化系統空氣中二氧化碳含量；2.再生污氮中水含量；3.增壓膨脹空氣中水含量；4.液空中富氧含量；5.污氮中氧含量；6.產品氧純度；7.產品氮中微量氧含量；8.氬餾分中氬含量；9.粗氬中氬含量；10.粗氬中氧含量；11.精氬中微量氮含量；12.產品氬中微量氧含量；13.主冷液氧中乙炔、N2O和碳氫化合物含量。
空分的樣品氣干凈和干燥，所以預處理相對不如石化等行業那么復雜，從功能上來說包括四步：1.穩壓；2.過濾；3.快速旁路；4.穩流。
